德國英?？礗NFICON CDG025D電容膜片真空計產品簡介：

INFICON SKY CDG025D 電容膜片計系列高精度溫度補償壓力計專為在惡劣的制造工具環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能而設計。

先進的數(shù)字電子設備可提高儀表性能并提供易于操作的功能，例如一鍵歸零功能和設定點調整。

耐腐蝕陶瓷傳感器提供的零穩(wěn)定性，預期壽命長達數(shù)百萬個壓力循環(huán)，包括大氣爆裂。傳感器屏蔽可保護儀表免受過程污染。

穩(wěn)健的機械設計和數(shù)字電子設備提高了 EMC 兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補償。

CDG025D 為通電后的快速穩(wěn)定性和大氣壓力暴露的快速恢復設定了新標準。

產品特點：

. 滿量程范圍從 100 mTorr … 1000 Torr

. 上電后快速穩(wěn)定

. 從大氣壓中快速恢復

. 耐腐蝕陶瓷傳感器

. 長期信號穩(wěn)定性

. 溫度補償

. 傳感器免受污染

. 一鍵歸零功能

. 寬范圍電源。

德國英?？礗NFICON CDG025D電容膜片真空計產品應用：

. 用于蝕刻、CVD、PVD、ALD的半導體制造設備

. 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設備

. 工業(yè)真空設備

. 通用高精度壓力測量。